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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用（第2版）
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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用（第2版）
张海洋
等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用（第2版）
作者
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张海洋
出版社
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清华大学出版社
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